J-Metron 3100 Series是采用电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的汞接触式晶圆测试设备。
J-Metron 3100 Series可用于测试载流子浓度分布、C-V特性等电学参数,为前道开发工艺和工艺监测应用提供高度可重复的CV和IV测量。
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详细信息 J-Metron 3100 Series是采用电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的汞接触式晶圆测试设备。 J-Metron 3100 Series可用于测试载流子浓度分布、C-V特性等电学参数,为前道开发工艺和工艺监测应用提供高度可重复的CV和IV测量。 |