白光干涉、光谱反射、光谱共焦三合一！ 编程测量：智能阵列、自动测量，自动对焦，自动定位Data Feedback数据库管理； 易用性高，自动重测，数据统计分析更多分析功能，报告一键生成； 更多功能：数据统计分析等精益制造模块支持定制开发。
丰富的测量功能
粗糙度/膜厚/台阶高度/关键尺寸/Warpage /Bow / Stress/
超高测量精度
形貌重复性 0.03 nm
台阶高度准确性 0.3%
XY最高重复精度 0.19μm
超高检测效率
超快扫描速度：是传统机型的5倍
全自动测量：在线编程设定，自动测量
离线分析：原始数据可二次特定分析
集成电路质量控制管控制造全流程
高精度！高速度！
易操作！多功能！
编程测量：智能阵列、自动测量，自动对焦，自动定位
Data Feedback数据库管理
易用性高，自动重测，数据统计分析更多分析功能，报告一键生成 更多功能：数据统计分析等精益制造模块支持定制开发
全量程压电陶瓷扫描（业内首家） 测量精度：0.03nm
高感光度、超高采样频率 CMOS
采样频率：169-3200HZ
反射率：0.02%-100%
光谱反射膜厚仪，毫秒级别采样频率， 分段拟合算法，精度0.1nm，最多可测10层