偏差精准校正，实现超高分辨率；毫秒级别采样频率，比传统膜厚仪提升2~3倍更合适在线使用！支持Mapping模式，自动快速测量，单点时间＜0.5s，兼容2-12寸晶圆片。
超高精度
分辨率 0.1Å
多层测量
可测层数10层
场景丰富
离线/在线/Mapping多应用场景
行业应用广泛：半导体、精密光学、液晶、新能源/光伏、医疗、刀具、制成薄膜、高分子材料
薄膜厚度测量原理
不同波长的光波穿透被测膜层时，上下表面反射光相互之间的相位差增强或者减弱。
相位差为波长整数倍时，产生建设性叠加，此时反射率最大； 相位差为半波长时，出现破坏性叠加，反射率最低； 整数倍与半波长之的叠加，反射率介于最大与最小反射之间。
通过解析干涉图形计算被测膜层厚度。
光谱
光强均匀、频谱稳定的 “氘灯”和“钨卤素灯”
可测单层、多层膜，液态膜，气隙层，粗糙/光滑层 一台机器覆盖多台机器的测量范围
更加精准
毫秒级别采样频率
比传统膜厚仪提升2~3倍 更合适在线使用
适用于多场景配置
离线式
① 操作简单
② 应用广泛
③ 便于携带
Mapping模式
① 自动快速测量，单点时间＜0.5s
② 点位编程，呈现3D分布
③ 兼容2-12寸晶圆片
在线式
① 体积小，易安装
② 快速采样，采样频率＜0.1s
③ 支持USB链接
全自动
① 晶圆自动上下料
② 兼容4-8寸和8-12寸晶圆片
③ 提供客制化、全面高效的服务
